Máquina de limpeza de plasma a vácuo
O fluxo de limpeza da máquina de plasma a vácuo: carregue os produtos na câmara de vácuo - ligue o motor para exaurir a sala a um nível de vácuo padrão de cerca de 10Pa (isso geralmente leva alguns minutos) - entre no gás (oxigênio, argônio, hidrogênio, nitrogênio, tetrafluoreto de carbono, etc.) na câmara de vácuo e mantenha a pressão interna estável - aplique tensão de alta frequência na câmara de vácuo para penetrar no gás e ocorrer plasma, e começar o processo de limpeza. —- Após o acabamento da limpeza, corte a alimentação elétrica, e o gás e a sujeira vaporizada são extraídos e descarregados pela bomba de vácuo.
Temos uma linha completa de aspiradores de plasma a vácuo, entre em contato conosco para discutir suas necessidades individuais.
O processo de plasma é uma reação seca de fase gás-sólida, sem necessidade de água ou produtos químicos e sem poluição do meio ambiente.
Ampla aplicabilidade: todos os tipos de substratos podem ser tratados, como metais, semicondutores, óxidos, a maioria dos materiais poliméricos, etc.
Baixa temperatura, próxima à temperatura ambiente, especialmente adequada para materiais poliméricos.
É um dispositivo simples, fácil de operar e manter e com custo muito menor que a limpeza úmida.
Modelo |
HW-PL100 |
Dimensão (L*A*P) |
1100*1030*1680mm |
Tamanho da câmara de vácuo (L*A*D) |
500*450*500mm |
Material da câmara de vácuo |
316 aços inoxidáveis |
Controlador de fluxo |
0-800 ml/min |
Tempo de limpeza |
1-9999s ajustável |
Volume |
100L |
Fonte de energia de plasma |
0-500W ajustável |
Frequência de potência de RF |
13,56 MHz |
Poder geral |
3 kW |
Sistema de controle |
CLP+ tela sensível ao toque |
Vácuo de trabalho |
9-30 Pa |
Fonte de energia |
AC380V, 50/60Hz |
Eletrodo horizontal embutido |
5 camadas |
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